SU-3700N

SU-3500

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TM3030/TM3030Plus

日立高新扫描电子显微镜S-3700N适合用于研究大件,较重,较高的样品。

 

▲最大样品直径达300mm。
▲可观察范围直径达203mm。
▲可对高达110mm的样品进行观察和能谱分析。
▲通用型接口布局满足各种分析用途。

 特点

  • 特大型的样品室可装载最大直径达300 mm的样品,还可同时安装EDX/WDX/EBSD等配件。

  •  其可载样品高度可达110 mm。

  • 5轴马达驱动优中心倾斜、旋转、图像导航系统、样品台追踪、

  •  轨迹存储与中心复位等样品台的马达控制功能一应俱全。

  • S-4800,SU-3700及S-3400N均具有用户友好的GUI设计,这使得操作者经过简单培训即可操作。

  •  显示系统有全屏显示,无闪烁,高像素和实时图像显示等优异的性能,

  •  它还可以实时信号混合并同时显示两个不同的检测器观测到的互不相同的样品信息。

  •  可变压模式不需要金属喷涂,可以直接观察不导电样品。

  • 高灵敏度半导体背散射电子检测器可以在快速扫描模式下运行,

  •  这使得寻找大尺寸样品中感兴趣的区域更为简单和便利。

  •  标准配备涡轮分子泵(TMP),其清洁和干燥的真空条件最大限度地减少了样品污染。

  • 区别于传统的扩散泵扫描电子显微镜,此款产品不需较大的加热功率或循环水箱,

  •  从而使得它成为一款节能,生态环保的扫描电子显微镜。

S-3700N技术参数
分辨率SE
 
3.0nm,30KV(高真空模式)
10nm,  3KV(高真空模式)
BSE4.0nm,30KV(低真空模式)
放大倍率x5~x300,000
加速电压0.3~30KV
低真空范围6~270Pa
图像电位移±50μm (工作距离10mm)
最大样品尺寸直径300mm
样品台
      X150mm
      Y110mm
      Z5~65mm
      R360°
      T-20°~90°
观测区域203mm
样品最大高度直径110mm(工作距离10mm)
样品台类型优中心马达台
电子光学系统
灯丝预对中灯丝
物镜4孔活动光阑
光阑固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
枪偏压二次电子探头
探测器5分割半导体式被散射探头
分析位置工作距离10mm,取出角35°
显示控制系统
控制模式键盘鼠标、操纵杆、旋钮板
显示器液晶显示器
辅助功能3D动画演示功能
电镜操作导航功能
样品操作导航功能
倾斜补偿功能
存储图像精度640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840
图片格式BMP, TIFF, JPEG
图像显示模式全屏模式:1280 x 960
标准模式:640 x 480
分割模式:640 x 480 点x 2
信号混合模式
真空系统
控制模式全自动
分子泵210升/秒,一台
机械泵135升/分,一台
保护措施断电保护、漏气保护

应用领域
-    文物考古
-    钢铁制造
-    汽车
-    电子半导体
-    冶金

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